1 引言

砂浆在线回收工艺，是将废砂浆经在线回收设备处理，将可重复使用的碳化硅颗粒和切割液回收再利用，操作方便，节约了废砂浆储存空间，且有效降低了成本。在此过程中无需添加任何化学成分，保证了砂浆的原有性质。但由于回收的碳化硅、切割液的质量和比例直接影响硅片切割质量，本文主要论述在线回收砂浆对切割质量的影响及调整措施。

2 在线回收砂浆切割质量分析

2.1 不同回收比例的砂浆切割质量分析

随着砂浆回收比例的提升，砂浆的粒径、圆度及微粉含量都会有所变化，从而影响砂浆的切割能力。

从使用在线回收设备，逐渐提高砂浆的回收比例，经过不同阶段的配比情况，切割质量对比如下：

可以看出，使用第四阶段回收比例的砂浆切割质量情况相对较稳定，各项指标较理想。

2.2 回收次数对切割质量的影响

从第二阶段回收比例比例到第四阶段回收比例调整过程中,第三阶段回收比例的砂浆共回收35批次，第四阶段回收比例的砂浆共回收37次，但随着砂浆回收次数逐渐增多，硅片质量也出现波动，其中第三阶段回收比例的砂浆使用到第35次时硅片表面出现严重锯痕，原因是砂浆切割能力不足；第四阶段回收比例的砂浆使用到第37次时清洗工序崩边碎片率较高，原因是硅片表面锯痕太深引起。

砂浆回收次数对切割质量影响的分析

2.3 在线回收砂浆对线损的影响

对线锯切割完的旧钢线，取样线进行检测发现，使用不同回收比例的砂浆进行切割，钢线平均直径的磨损程度差异不大，但是椭圆度随着砂浆回收比例的提高而增大;同时，随着砂浆回收次数的增多，钢线直径的磨损程度和椭圆度也有所增大。由于钢线线损过大、椭圆度过高会直接影响携砂量，会因此会影响切割质量。

3 使用在线回收砂浆过程中存在的主要问题及调整措施

砂浆的质量直接影响硅片的切割质量，而使用在线回收设备回收的砂浆不可避免会存在质量波动，主要表现为砂浆中微粉含量偏高，切割能力不足，这将直接导致质量问题的产生，如硅片表面锯痕或TTV值超差。对此，主要措施为调整在线回收设备的相关参数：调整流量值、差速或主频、副频值。

参考文献

[1] 王文斌.机械设计手册[M].北京：机械工业出版社，2008

[2] 李保军.硅单晶锭多线切割中砂浆作用的研究[J].半导体技术，2007,32(6).

[3] 张楷亮，刘玉玲，张建新，等.半导体硅材料加工技术分析及相关化学品的研究[A].第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会论文集[C]，深圳，2003,90-105.