1、目前现状

　　硅片车间的开方机由于进来的提速切割，操作人员在实际的工作中，只要稍有疏忽就会造成硅块的切割质量不好。主要分为：切割的硅块表面有锯痕；硅块的尺寸出现中间“鼓肚”现象；断线引起的局部硅块形状弯曲。目前车间的毛刷式的砂轮已经不能完全去除由于切割造成的锯痕；对于“鼓肚”问题的硅块，由于毛刷式的砂轮的抛光能力有限，不能把中间大的尺寸去除。此时急需一种具有更强研磨能力的砂轮。

　　2、实施方法

　　目前车间所使用的抛光机主要原理是，依次通过粗砂轮、细砂轮对硅块的表面进行抛光。现在通过把抛光机的粗砂轮更换为金刚石砂轮，细砂轮使用毛刷式砂轮对硅块进行抛光。

　　试验使用的是金刚石树脂结合剂砂轮，天然和人工金刚石都可以用于磨削，金刚石是碳的一种超高硬度形态，因为它对铁有亲和性而形成快速磨损，结合剂选用树脂型结合剂，它对摩擦中的震动有一定的阻尼作用。利用金刚石砂轮的较强的研磨能力，可以把开方机切割造成的一些硅块表面的问题如：切割的硅块表面有锯痕；硅块的尺寸出现中间“鼓肚”现象；断线引起的局部硅块形状弯曲，进行基本的抛光，再使用细砂轮对硅块的表面进行优化，可以取得更好的效果。

　　3、试验过程

　　为了提高硅块表面的抛光质量，通过金刚石的粗砂和毛刷式的细砂结合。粗砂把硅块表面的“鼓肚”和大锯痕去除，然后细砂轮保证剩余的精抛光。在实际操作中必须保证以下几方面：

　　在金刚石的粗砂抛光时，更应该给予充足的冷却水，保证水路畅通

　　保证砂轮前端盖的安装，使得水更均匀撒开到砂轮上面

　　确保机床研磨台车下的“V”型槽的精准性

　　抛光时的研磨速度5—10mm/s

　　4、试验数据统计

　　金刚石砂轮可以解决对于开方机引起的问题，主要分为两个：金刚线开方机引起的硅块“鼓肚”问题；砂浆切割引起硅块表面大的锯痕问题。以下为两种设备切割的硅块的抛光前后的表面粗糙度的对比。

1）对金刚线开方机的硅块，抛光前后粗糙度（单位：mm）数据对比：

Ra：算术平均粗糙度、

Rz：平均峰谷深度

Rq：均方根粗糙度

抛光前

抛光后

　　2）对砂浆切割硅块，抛光前后粗糙度（单位：mm）数据对比：

抛光前

抛光后

　　抛光检验标准：

　　1）硅块有效切割长度内且目测无可视锯痕

　　条件a：普通照明灯环境下测量

　　条件b：肉眼距硅块距离小于0.5m范围内

　　每班抛光合格率要求在90%以上

　　5、设备对抛光的影响

　　5.1连接砂轮的轴承箱运转不灵活

　　砂轮的转动通过由电机连接的轴承箱带动，当轴承箱出现运转不灵活时，会直接影响砂轮的转动，进而影响抛光的质量。

　　5.2冷却水管路不通

　　当冷却水管路堵塞时，会直接影响抛光的正常运行，不能进行正常冷却，从而影响抛光质量。如果可以保持至少每班一次槽体内冷却水，抛光和冷却的效果会更好。

　　结论

　　利用金刚石砂轮的较强的研磨能力，可以把开方机切割造成的一些硅块表面的问题如：切割的硅块表面有锯痕；硅块的尺寸出现中间“鼓肚”现象；断线引起的局部硅块形状弯曲，进行基本的抛光，再使用细砂轮对硅块的表面进行优化，可以取得更好的效果。