近日,河北省晶龙集团技术创新实现新突破,在国内首次完成16英寸单晶硅棒的切断工作。
一般6英寸和8英寸的硅棒切断在内圆切断机上就可完成。而16英寸硅棒因为直径长、重量大不易固定,对切断硅片质量要求也比较高。如果硅片出现崩边将造成很大的经济损失,常规切断法根本无法完成它的切断工作,国内未有成功先例。
晶龙集团利用自己的独特技术优势和人才优势迅速展开技术攻关,成立了专项课题攻关小组,经过研究设计出了针对16英寸硅棒的固定方法。他们量身定做了专用的模具,并用一种特殊的粘料方法巧妙完成对硅棒的粘接,使单晶在加工时能够保持平衡稳定,切断过程中无崩边。克服了由于16英寸硅棒重量大而上棒、找正困难等不利因素,最终成功的完成了对16英寸单晶的加工。切断后的16英寸单晶硅片无崩边、无刀痕,表面平整光滑,各项质量指标均符合市场要求。 |