中国晶龙网讯(通讯员 高琴伟 李立秒)日前,晶龙集团阳光设备公司研发的首批10台新型炉——JL-CZ62BM型半导体材料专用硅晶体生长炉通过了出厂整机检验,正在分批发往客户。
JL-CZ62BM型半导体材料专用硅晶体生长炉是阳光设备公司新产品重点攻关课题之一,历时研发人员一年的不懈摸索、设计、制造、调试,终于获得了成功。这也是该公司自成功研发JL-CZ120大炉型后的又一个新产品,进一步满足了客户需求。新研制JL-CZ62BM型设备高度降低,最大程度提高了设备运行时的稳定性;另一方面,成功地将磁场控制与单晶生长控制有机结合,实现了阶段式控制,使磁场强度可根据工艺要求的时间、晶体长度来控制磁场强度的大小,将有效降低碳氧含量,提高硅棒产品质量。 |